長(zhǎng)度測(cè)量工具：平晶
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具有兩個(gè)(或一個(gè))光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面?它能夠?生光波干涉條紋(見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用於測(cè)量高光潔表面的平面度誤差?圖1a 平晶檢驗(yàn) 平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測(cè)量平面度誤差的?故其測(cè)量方法稱(chēng)為平晶干涉法(圖2 平晶干涉法 ) ?也稱(chēng)技術(shù)光波干涉法。測(cè)量時(shí)?把平晶放在被測(cè)表面上?且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角 ?以單色光源照射時(shí)會(huì)?生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直於被測(cè)表面?且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小?則由平晶測(cè)量面P 反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在測(cè)量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下?則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直?相互平行?且分布均勻?則表示被測(cè)表面的平面度很好?如干涉條紋彎曲?則表示平面度不好。其誤差值為?式中為兩干涉條紋間距離?為干涉條紋的彎曲值?為光波波長(zhǎng)?白光波長(zhǎng)一般以0.6微米計(jì)算。
